SK하이닉스 · TEMC, 반도체 업계 최초 네온 가스 재활용 기술개발

 

 

네온 가스의 중요성과 재활용 기술의 필요성

반도체 제조 공정에서 필수적인 네온 가스는 희귀 가스로서, 그 공급에 있어 국제 정세의 불안정성으로 인해 수급 불확실성이 커지고 있습니다. 이러한 상황에서 SK하이닉스와 국내 반도체용 특수가스 기업 TEMC가 협력하여 네온 가스 재활용 기술을 개발했다는 소식은 산업에 큰 파장을 일으키고 있습니다. 이 기술은 불확실한 국제 정세 속에서도 안정적인 네온 가스 공급을 가능하게 하며, 제조 비용 절감과 환경 보호에 기여할 것으로 기대됩니다.

 

네온 가스 재활용 기술 개발 배경

SK하이닉스와 TEMC의 협력은 네온 가스 공급의 불확실성을 해결하고자 하는 목적에서 시작되었습니다. 네온 가스는 반도체 노광 공정에 필수적인 엑시머 레이저 가스의 주요 성분으로 사용되며, 한 번 사용 후에도 화학적으로 분해되거나 변형되지 않아 재활용이 가능한 특성을 가지고 있습니다. 이러한 특성을 기반으로, SK하이닉스와 TEMC는 네온 가스를 효율적으로 회수하고 재활용하는 기술을 개발하였습니다.

 

출처 - 연합뉴스 (https://www.yna.co.kr/view/AKR20240401049200003?input=1195m)

 

네온 가스 재활용 공정

개발된 네온 가스 재활용 기술은 노광 공정 후 스크러버를 통해 배출되던 네온 가스를 수집 탱크에 포집하여, TEMC의 가스 처리 과정을 통해 네온만 선택적으로 분리하고 정제하는 방식으로 이루어집니다. 정제된 네온 가스는 다시 SK하이닉스로 공급되어 반도체 제조 공정에 재사용됩니다. 이 과정을 통해 네온 가스의 회수율을 기존 대비 대폭 향상시킬 수 있었습니다.

 

 

경제적 및 환경적 효과

네온 가스 재활용 기술의 적용은 연간 약 400억 원 상당의 네온 구매 비용 절감 효과를 가져올 것으로 예상됩니다. 또한, 네온 생산 과정에서 발생하는 온실가스 배출량을 상당량 감축하여, 기업의 경쟁력 강화 및 환경 문제 해결에 기여할 것입니다.

 

향후 계획과 비전

SK하이닉스는 네온 뿐만 아니라 중수소, 수소, 헬륨 등의 가스 소재와 황산 등의 화학 소재를 포함하여 총 10개 원자재의 재활용 기술 개발을 목표로 하고 있습니다. 2025년까지 재활용 소재 비율을 25%, 2030년까지는 30% 이상으로 늘리겠다는 중장기 로드맵을 설정하였으며, 이를 통해 자원 순환 경제에 기여하고 지속 가능한 발전을 도모할 계획입니다.

 

SK하이닉스와 TEMC의 네온 가스 재활용 기술, 산업에 미치는 영향

SK하이닉스와 TEMC의 네온 가스 재활용 기술 개발은 반도체 산업뿐만 아니라 국내 소부장 산업 전반에 긍정적인 영향을 미칠 것입니다. 이 기술은 안정적인 소재 공급망 확립, 제조 비용 절감, 환경 보호 등 다방면에서 혁신을 가져오며, 국내 기업들의 경쟁력 강화에 크게 기여할 것으로 기대됩니다.

 

 

원문기사 링크

https://www.yna.co.kr/view/AKR20240401049200003?input=1195m

SK하이닉스, 반도체업계 최초 네온 가스 재활용 기술 개발 | 연합뉴스